产品描述
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康宁7973/Corning 7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃，是为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。7973具有与ULE 7972玻璃相似的成分，并且使用相同的火焰沉积工艺制造。从193nm到13.4nm的光刻转变要求步进光学从折射型到反射型的重大设计转变。在反射光学中，衬底材料应该是纯被动的，因此入射光应从光学元件和光掩模的多层涂层反射出去，而不引起由底层基底引起的任何机械或光学变形。为了使由微小温度变化而引起的变形最小化并满足严格的EUVL规范要求，基板具有接近零的热膨胀系数（CTE）和严格控制的零交叉范围，所以极低的热膨胀系数要求以十亿分之一摄氏度（ppb/C）来表示。
产品名称：康宁ULE 7973超低膨胀玻璃
产品关键词：
康宁7973，CORNING 7973, 康宁光学玻璃，CORNING玻璃，7973玻璃，7973低彭胀玻璃，7973 ULE玻璃，ULE 7973，CORNING ULE玻璃，康宁ULE玻璃，康宁7973轻量化，7973
光学属性，热力学属性，以及机械属性和化学属性：
见图中所示英文表或下载相关附件
主要应用：
液晶电视、电脑显示器
笔记本电脑玻璃基板
移动排放控制系统用陶瓷载体和过滤器
通信网络用光纤、光缆、硬件和设备
用于药物开发的光学生物传感器
半导体、天文学和计量学中的光学
我们提供：
康宁(Corning)7973毛坯件大料
康宁(Corning)7973粗加工坯件
康宁(Corning)7973坯件的进一步加工服务，包括切割，成型，抛光，研磨，钻孔，取芯，倒边，倒角，3D巡边，激光雕刻与打标，单面抛光，双面抛光，环抛，离子束抛光加工，磁流变抛光加工，轻量化，沉孔，数控机加工，开槽，真空镀膜，蒸发镀膜，清洗，计量与测量，胶合，光学装配等。
现货坯件最大尺寸：1700mm(D)*170mm(H)
最大坯件加工尺寸：2000mm(L)*2000mm(W)*600mm(H)
材料等级：
EUV Grades
EUV Mask A Grade
Premium
Mirror
Standard
Tooling
主要优势
1）。康宁7973是一种二氧化钛硅酸盐低膨胀玻璃；
2）。康宁7973具有与ULE 7972玻璃相似的成分，并且使用相同的火焰沉积工艺制造；
3）。接近零的热膨胀系数（CTE）和严格控制的零交叉范围，极低的热膨胀系数 ；
4）。为满足EUVL应用对掩模和光学基板的需求而设计。
