产品描述
产品描述:
AQ系列是AGC的标准等级ʼs合成熔融石英玻璃,在从红外到深紫外的宽波长范围内具有高透射率。AQ用于利用深紫外线的光学元件,例如透镜、窗口、玻璃晶片以及半导体和液晶器件的光掩模衬底。AQ3比AQ具有更高的均匀性和更低的双折射。除其他外,该等级用于i射线光刻设备中的投影光学。QJ是一种金属杂质含量较低的牌号。它还具有低OH含量和低双折射。因此,对于需要在高温下抗变形或抑制杂质洗脱的应用,它是一种理想的材料。主要应用包括显示设备、mems和生物用晶圆.
产品名称:AGC AQ合成熔融石英玻璃/AGC熔融石英/AGC AQ2熔融石英/AGC AQ3熔融石英
产品关键词:
AGC AQ 合成熔融石英玻璃,AGC AQR/T(193nmi)熔融石英,AGC AQ2熔融石英,AGC AQ3熔融石英,AGC合成熔融石英,AGC熔融石英,AGC石英玻璃,AQ合成熔融石英,AQ2 合成熔融石英,AQ3 合成熔融石英,AQ熔融石英等。
光学属性,热力学属性,以及机械属性和化学属性:
见图中所示英文表或下载相关技术资料
主要特点:
AGC的合成熔融石英AQ系列采用VAD法生产。
VAD法可以降低Si-OH的含量,为客户提供更好的产品具有丰富的合成熔融石英如下:
◆频率<200 nm的深紫外线的高透射率i线到KrF、ArF或Xe准分子灯,甚至近红外线*1
◆优异的压缩/稀薄和偏振诱导双折射(PIB)
特点*2
◆耐热处理1000左右°C*3个
◆对高能激光束的出色耐久性
◆热膨胀低至传统玻璃的1/10倍
◆高均匀性
◆纯度很高,金属杂质含量很低
◆羟基含量低
◆优异的耐化学性
◆低介电损耗
主要应用:
1).显示设备
2).MEMS
3).生物用晶圆
我们提供:
日本AGC AQ/AQ2/AQ3熔融石英毛坯件大料
日本AGC AQ/AQ2/AQ3熔融石英粗加工坯件
日本AGC AQ/AQ2/AQ3熔融石英坯件的进一步加工服务,包括切割,成型,抛光,研磨,钻孔,取芯,倒边,倒角,3D巡边,激光雕刻与打标,单面抛光,双面抛光,环抛,离子束抛光加工,磁流变抛光加工,轻量化,沉孔,数控机加工,开槽,真空镀膜,蒸发镀膜,清洗,计量与测量,胶合,光学装配等。
现货坯件最大尺寸:
AQ:650mm(D)*100mm(H)
AQ2:650mm(D)*100mm(H)
AQ3:650mm(D)*100mm(H)
最大坯件加工尺寸:2000mm(L)*2000mm(W)*600mm(H)
材料等级:光学级
主要优势:
1). 优异的压缩/稀薄和偏振诱导双折射(PIB)
2).对高能激光束的出色耐久性
3).热膨胀低至传统玻璃的1/10倍
4).高均匀性
5).纯度很高,金属杂质含量很低
6).羟基含量低
7).优异的耐化学性
8).低介电损耗